应用概述
高纯气体从存储，输送，分配到尾气处理，都离不开压力监测。麦克传感全自主研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表，对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说，是理想的选择。
高纯气体从存储，输送，分配到尾气处理，都离不开压力监测。麦克传感全自主研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表，对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说，是理想的选择。
1、高等级气体泄露率；
2、长期稳定性及可靠性要求较高；
3、多种腐蚀性气体介质；
4、高洁净要求；
5、部分设备安装空间狭小；
1、产品密封性高，氦气泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s；
2、洁净度高，生产地点：百级清洁车间；
3、表面处理：电抛光，符合SEMI F19；表面光洁度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
4、耐腐性好，接液材质不锈钢316L VAR+VIM符合SEMI F20；
5、长期稳定性好，长期稳定性±0.25%FS/年，高EMC防护等级，零点可调；
6、结构特点，紧凑精小，适用于狭小空间。
